熱式氣體質量流量計是基于熱擴散原理的流量儀表。即是利用流體流過發熱物體時，發熱物體的熱量散失多少與流體的流量成一定的比例關系。具體來說，該流量計的傳感器有兩只標準級的RTD，一只用來做熱源，一只用來測量流體溫度，流體流過的，兩者之間的溫度差與流量的大小成非線性關系，該儀表就可以把這種關系轉換為測量流量信號的線性輸出。
熱式氣體質量流量計利用熱擴散原理制造的流量計有兩種設計方法：一是：基于恒溫差原理；二是基于恒功率原理。基于共同的數據模型：P/△T=A+B(Q)^N.其中：P—耗散功率，△T—兩個傳感器之間的溫差，Q—質量流量，N—指數系數，A、B是與氣體的熱性能有關的系數。
恒溫差原理：△T保持不變，耗散功率P與流體的流量Q成指數函數遞增的關系。
熱式氣體質量流量計的參數指標
測量范圍：0.5～100Nm/s 常用流速范圍0.5～80Nm/s
準確度（FS)：±1.0%的讀數、±0.5%滿量程
量程比：通常100：1（取決于標定流量的范圍）。
管徑范圍：15～8000mm 法蘭式插入式兩種安裝方式
熱式氣體質量流量計應用范圍：適合各類單一或混合氣體。含塵、含沙等，各種腐蝕性氣體
環境溫度范圍：-40℃～+85℃（無顯示），-30℃～+70℃（有顯示），濕度＜90%RH
介質溫度范圍：-40℃～+100℃，-40℃～+200℃，-40℃～+350℃
傳感器直徑：φ2.5、φ3、φ4
插入式傳感器探桿直徑：φ19、φ25
傳感器材質：316不銹鋼、哈氏合金、鈦
探桿材質（保護套）：316G不銹鋼（標準）、哈氏合金
雙向測量介質流量
模擬量輸出，累積脈沖量輸出
流量：4-20mADC輸出，溫度：4-20mADC，最大負載：500Ω
供電電源：一體機DC24V/AC220V，分體轉換器DC24V/AC220V
工作壓力：插入式≤2.5mpa,管道式≤4.0mpa
熱式氣體質量流量計安裝工藝形式：插入式（卡套、卡套+球閥、法蘭連接），管道式（法蘭，螺紋連接）
防爆等級：Exd IIC T6 Gb
防護等級：IP65